広幅のLow-Eガラスを処理する際には、適切な赤外線ヒーターが必要です。ほとんどの赤外線ランプは、1.5メートルから2メートル程度の範囲しか加熱できません。それだけでも十分に思えますが、広幅のLow-Eガラスを処理する場合、ランプ同士の間に生じる隙間が問題となります。そうすると、冷たい部分ができてしまい、コーティングがうまく付着しなくなります。
これを解決するために、私たちは3メートル以上の長さを持つ連続加熱装置を使用します。そうすれば、隙間もなく、正確に加熱できます。
電圧と電力の問題
単にクォーツ管を伸ばしてもいけません。そうすると、電気抵抗が上昇し、電流の消費量が増えてしまいます。また、十分な熱が得られず、効果的に加熱できないことにもなります。
この問題を解決するために、より高い電圧を利用します。そうすることで、ガラス全体に均一な熱が行き渡り、スパッタリングチャンバーに到達する前に、ガラスが適切な状態になります。
クォーツ管が壊れないようにする
3メートルもあるガラス管は非常に弱いものです。熱くなると、自重で曲がってしまいます。
この曲がりを防ぐために、高純度のクォーツを使用し、適切な壁厚を設定します。しかし、フレームも同様に重要です。位置がずれると、冷たい部分ができてしまい、ガラスが割れてしまいます。
そこで、特別なクリップを使用し、クォーツ管に十分な空間を与えます。実際、クォーツは加熱されると膨張します。フレームがきつすぎると、クォーツ管には動く余地がなく、壊れてしまいます。
利点と欠点
長いランプを使えば、接合部が少なくなり、熱がより均一になります。感覚的にも滑らかになります。
ただし、3メートルの管の一部が損傷すると、全体が使えなくなってしまいます。その場合、装置全体を交換する必要があります。
だからこそ、モジュール式の取り付けシステムを推奨します。そうすれば、単一のランプを修理するために装置全体を分解する必要がなくなります。